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SPECTRO MS等離子質譜儀
1974年以電鹹耦合等離子體(ICP)作為激發光源的ICP發射光譜儀問世。1983年ICP等離子質譜儀開始推出,並很快確立了基市場地位。ICP質譜具有高的靈敏感度、少的幹憂,使分析結果更為精確,由於ICP質譜的檢出限低所以,所以儀器需要在潔淨室中動行,以免受環境汙染的影響。
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